隨著行動電子設備變得越來越小、更高智慧,先进逻辑半導體製造商必須持續生產高性能、低於 10 奈米的邏輯晶片。為有效地爭取高利潤的先进逻辑機會,製造商必須克服許多技術挑戰。
製程应用
先进逻辑
為先进逻辑晶片製造商最大程度提高純度和生产力
白皮书
Microwave ECR Plasma Electron Flood for Low Pressure Wafer Charge Neutralization
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Material Modification Implants for Advanced Devices
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Contamination Control in the Purion Platform Ion Implanters
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影片
Purion Vector Dose and Angle Control System
Purion Shield Contamination Defense